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LoadPort是优米官方-数字体育娱乐新方向公司自主研发的一种晶圆装载装置，，，，，，，可装置在EFFM上，，，，，，，适用于200mm和300mm晶圆盒的装载，，，，，，，具备准确的mapping功效，，，，，，，可自动识别盒内晶圆各槽状态，，，，，，，如单片、跨片、异常片，，，，，，，通过独创的开关门机构和准确的运动控制，，，，，，，实现了高清洁性能，，，，，，，同时具有优异的稳固性和速率。。。。。

Loadport 晶圆装载装置

产品优势

可挂载

可挂载到切合SEMI标准的EFEM上

自动识别

自动识别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态

防夹手功效

内置防夹手功效

RFID

具有RFID读取功效

产品参数

重复位置精度

±0.1mm

晶圆尺寸

8 " 12 "

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